微纳加工

深紫外-可见微区吸收光谱测试显微镜

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深硅刻蚀机DSE

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磁控溅射

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铜电镀机台

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Diener等离子去胶机

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原子层刻蚀机

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电感耦合等离子体刻蚀系统-氯气

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反应离子束刻蚀系统

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全自动超临界干燥仪

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