深紫外-可见微区吸收光谱测试显微镜
仪器型号南京迈塔 MStarter ABS
预约次数0次
服务周期收到样品后15个工作日内完成
详细描述
技术参数：
适用于8英寸及以下Si片；深宽比≥30:1，PR胶选择比≥20:1，SiO2选择比≥30:1，侧壁垂直度90±0.5°
功能介绍：
在Si片上或者SOI上刻蚀具有垂直侧壁的高深宽比的沟槽、孔、柱子。只用于刻蚀SI类材料，不得刻蚀含有或者带有金属物质的材料。
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技术参数：
适用于8英寸及以下Si片；深宽比≥30:1，PR胶选择比≥20:1，SiO2选择比≥30:1，侧壁垂直度90±0.5°
功能介绍：
在Si片上或者SOI上刻蚀具有垂直侧壁的高深宽比的沟槽、孔、柱子。只用于刻蚀SI类材料，不得刻蚀含有或者带有金属物质的材料。
