高温退火炉

技术参数：

1、双层钨丝卤素石英灯管加热，加热灯源 33pieces 3kW of Halogen Lamp；

2、10 区灯管温控系统以提供较好的温度均匀性；

3、300℃~ 800℃(Thermocouple) (T＜500℃，10min；T＜800℃，3min) ；

4、≦500℃±5℃ ，>500℃±1%；

5、温度重现性 ±2℃；

6、升温速率 10℃/sec；

7、制程气体 Standard 2 组（O2、N2）。

功能介绍：

本设备为RTP-761SA处理晶圆的快速热制程系统，以红外线卤素灯管为热源，分由上、下、左、右同步辐射加热制品从而达到均匀的热处理制程，架构采用石英Tube 之腔体设计。机台操作控制为 PC-based 控制器，Windows 系统下架构图形窗口接口 具有方便、简易及弹性的操控特性。