热板

仪器型号SUSS MicroTec HP8TT

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服务周期收到样品后5个工作日内完成

详细描述

技术参数：

1、旋涂尺寸：≤直径为8英寸晶圆，向下兼容小碎片；

2、温度分辨率0.1℃；

3、200℃以下：＜±1%，200-300℃：＜±1.5%。

功能介绍：

对旋涂光刻胶的衬底进行烘烤，蒸发溶剂；烘干衬底；温度0~300℃。