详细描述 技术参数: 1、 样品尺寸:2/4/6/8 寸标准晶圆,适用于方片; 2、 最大转速:10000rpm; 3、 最大加速度:50000rpm/S; 4、 转速精度:± 1rpm; 5、 转速分辨率:0.1rpm; 6、喷嘴工装高度可手动调节,调节范围10-50mm。 功能介绍: 上一篇:匀胶机 下一篇:热板