显影机

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仪器型号雷博 AC200-DEV-CTM-JG

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服务周期收到样品后5个工作日内完成

详细描述

技术参数:

1、 样品尺寸:2/4/6/8 寸标准晶圆,适用于方片;

2、 最大转速:10000rpm;

3、 最大加速度:50000rpm/S;

4、 转速精度:± 1rpm;

5、 转速分辨率:0.1rpm;

6、喷嘴工装高度可手动调节,调节范围10-50mm。

 

功能介绍: