紫外纳米压印机NIL

技术参数：

1、适用于最大8英寸晶圆、并向下兼容6英寸、4英寸、2英寸的晶圆；

2、样品厚度0-0.8mm；

3、光源：365nm LED紫外光固化系统；

4、压印结构精度50nm；深宽比7.5:1；压印残余层厚度＜20nm；可用于斜齿光栅结构压印；对位精度：上下层对位标记几何中心偏差不超过±6um；

5、自动压印、自动曝光固化、自动脱模；

6、兼容基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等；兼容原始模具材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等；

7、载台最高温度70℃。

功能介绍：

1、微电子制作，MEMS/NEMS/传感器，微流体，光波管；

2、光学器件制作，虚拟现实和增强现实光波导（AR Waveguides）；

3、三维激光微纳米加工。