RCA清洗机

RCA清洗机

仪器型号华林科纳 CSE-HLKN2011-YM1602

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服务周期收到样品后10个工作日内完成

详细描述

技术参数：

1、槽体可用于6寸、4寸晶圆清洗；

2、配置SC-1、SC-2、SC-3溶液槽，及相对应去离子水清洗槽；

3、加热温度范围：石英槽体（RT~150℃）。

 

功能介绍：

该设备主要应用于MEMS领域中半导体材料RCA清洗工艺。