台阶膜厚仪

技术参数：

1、垂直方向分辨率： 可达 1A ( 在 6.55pm 量程范围内）|，2 μm 钻石材质半径探针，无防震台验收；

2、垂直方向扫描范围： 1mm，包含有 4 个量程， 分别为 6.55μm、 65.5μm、 524μm 、1000μm。 可根据不同测量范围一键切换不同量程， 无需更换扫描头， 使用更方便， 测量更精准， 误差更小；

3、水平方向单次扫描长度范围：55mm；

4、探针台阶高度重复性 :≤4A；

5、可放置最大样品厚度:50mm。

功能介绍：

1、釆用成熟的 LVDT 电感式传感器原理， 保证 Z 轴方向高分辨率测量， 兼顾使用精度和可靠性；

2、自动样品台， 自动定位、 自动测量；

3、可做表面轮廓三维形貌测量， 配备相应的数据分析软件， 具备数据存储、处理、 输出功能；

4、具备薄膜应力测试功能。