三离子束切割机

技术参数：

1、离子束电压：1 keV~10 keV;

2、切割速率(边缘50μm处): 5μm/ min (100% Si，10 keV，3.5 mA);

3、冷冻加工温度范围：+20℃~ -180℃；

4、样品尺寸要求：长宽＜25mm，厚度＜7mm（截面切割）；直径＜38mm，厚度＜7mm（表面抛光）。

功能介绍：

三离子束切割机通过氩离子束的加工可实现样品无应力截面切割以及表面抛光，用于制备扫描电子显微镜观察(SEM)、微观结构分析 (EDS、WDS、EBSD、SIMS) 和AFM测试的样品。