聚焦离子束扫描电子显微镜FIB-SEM

技术参数：

1、电子束分辨率:：0.9 nm@ l5kV，1.7 nm @1 kV；

2、离子束分辨率：3 nm@30 kV

3、TOF-SIMS 分辨率：横向空间分辨率：35 nm；深度分辨率：20 nm；检测限:ppm；

4、GIS源类型：W(Tungstem，W(CO))，C(Naphthalene，C10H8)；

5、冷冻机械手+冷冻传输系统：可以进行真空或惰性气氛下的样品进样、转移；可在-160℃下制样、提取、转移至冷冻电镜表征。

功能介绍：

1、可实现微纳米结构加工；

2、可进行常温及低温下样品截面切割和表面及截面形貌观察；样品的TEM制样及STEM成像；

3、结合TOF-SIMS可实现H-Th范围内的元素半定量分析；

4、通过连续切片和图像重建技术，实现样品的三维结构分析。